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3D光學(xué)輪廓儀 Zeta-20
| 設(shè)備名稱 | 3D光學(xué)輪廓儀 Zeta-20 |
| 型號 | YC-410L |
| 制造商 | 馬來西亞KLA-Tencor Corporation |
| 主要功能 | / |
| 設(shè)備概要 | 3d光學(xué)輪廓儀 3D光學(xué)輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，通過精密的掃描系統(tǒng)和3D建模算法，對被測表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。系統(tǒng)軟件對表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)表面形貌的3D測量。該儀器在材料學(xué)、機(jī)械制造等領(lǐng)域中應(yīng)用廣泛，具有高測量精度和重復(fù)性。 |
| 技術(shù)參數(shù) | 測量范圍：0.1 nm 至 200 μm 垂直分辨率：< 0.1 nm 水平分辨率：< 0.1 μm 掃描模式：點(diǎn)掃描、線掃描、面掃描 光源類型：白光LED 最大掃描面積：最大掃描范圍可達(dá) 100 mm x 100 mm 最大掃描速度：3 μm/s 至 500 μm/s（可調(diào)） 顯示方式：彩色LCD觸摸屏顯示，支持實(shí)時(shí)3D成像 數(shù)據(jù)接口：USB、Ethernet 軟件支持：包括表面分析、形貌重建、粗糙度測量等功能 應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體、電子元件、光學(xué)器件、材料科學(xué)等行業(yè)的表面表征與質(zhì)量控制。 |
| 聯(lián)系方式 | 李雨江 18838180141 |
| 設(shè)備照片 |
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